微小流量傳感器的測(cè)量

半導(dǎo)體制造業(yè)、生物工程、精細(xì)化工等的鼓起，使流量丈量向低端延伸，小流量計(jì)流量的要求在上世紀(jì)80∽90時(shí)代凸顯起來。何謂小流量？業(yè)界尚無公認(rèn)的定義和界限，小流量因使用領(lǐng)域而異是一個(gè)模糊的概念。管道小流量丈量表現(xiàn)于管徑小和流速低兩個(gè)層次，就流程工業(yè)而言，習(xí)慣上DN10乃至DN15以下管徑流量丈量稱之小流量丈量，一般其流量值液體為1L/min或0.06m3/h以下，流量外表滿度流量時(shí)的流速低于0.1m/s。

1、丈量方法

傳統(tǒng)小流量丈量技能節(jié)省差壓（層流）法、浮子法和容積法等有了卓越的改善，新丈量技能如超聲法、熱法、科里奧利法等也有成效地應(yīng)于液體和氣體小流量丈量。

2、特色

微小流量傳感器與一般流量丈量相比較，具有以下特色。

1）雷諾數(shù)低

一般管道活動(dòng)均為紊流活動(dòng)，流量外表也是針對(duì)紊流活動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)的，而小流量外表因管徑小常處于層流活動(dòng)（例如管內(nèi)徑6mm，流量0.05L/min，Re為1800或?qū)恿?紊流過渡區(qū)流態(tài)活動(dòng)，小流量丈量受運(yùn)用中流體黏度改變影響頗大。

2）要用實(shí)際運(yùn)用流體校準(zhǔn)

液體流量外表一般用水校準(zhǔn)，氣體用空氣校準(zhǔn)。若知道實(shí)際丈量流體與校準(zhǔn)流體間某些物性不同對(duì)示值有規(guī)律改變時(shí)，中大管徑流量外表常以適當(dāng)系數(shù)批改。但有些小流量外表受黏度等流體物性影響大，須以實(shí)際運(yùn)用流體校準(zhǔn)。所幸流量小，用實(shí)際運(yùn)用流體校準(zhǔn)難度不大，但在作有害性流體校按時(shí)應(yīng)注意安全和環(huán)境污染。

3）要求丈量時(shí)避免污染流體

若丈量潔凈氣體和純水常不允許觸摸流體的外表零件資料分出離子，例如半導(dǎo)體制備中外表不能用金屬和玻璃制成，只能用塑料。流體中也不允許混入活動(dòng)件的磨蝕塵粒。流量外表流轉(zhuǎn)通道要盡可能簡(jiǎn)略，不該有潴留（指液體在體內(nèi)不正常地聚集逗留）部位，避免潴留介質(zhì)蛻變。

4）氣泡和塵土附著的影響

因管徑小黏性增加，液體中微細(xì)氣泡易在管系活動(dòng)過程中積累變大，使丈量時(shí)指示不穩(wěn)，精確度下降。流體中塵土附著丈量元件也要影響丈量值，例如浮子流量計(jì)的浮子上堆積有肉眼覺察不出的附著層也會(huì)影響示值。

5）流量外表種類運(yùn)用上遭到一定約束

在很多丈量原理流量外表中，因各種原因小流量使用遭到一些約束，當(dāng)時(shí)能使用于小流量的種類如表格所示。